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 108AUTO 離子濺射儀

108 Auto是一款結構緊湊的桌上型鍍膜系統,特別適用于掃描電鏡成像中非導電樣品高質量鍍膜。
主要特性
一、自動的換氣與泄氣功能,可以得到一致的膜厚,和最佳的導電噴鍍效果。
二、通過高效低壓直流磁控頭進行冷態精細的噴鍍過程,避免樣品表面受損。
三、操作容易快捷,可全自動或手動進行噴鍍操作,控制的參數包括自動放氣以及氬氣換氣控制。
四、在自動模式下,可通過兩種方式進行控制鍍膜過程??賞ü窒允酒骺刂頻玫嬌芍叵值吶綞菩Ч?,
五、通過使用MTM-20高分辨膜厚控制儀(選件)在達到設定膜厚時停止噴鍍過程。
六、可用MTM-20高分辨膜厚控制儀(選件)手動停止噴鍍過程。
七、數字化的噴鍍電流控制不受樣品室內氬氣壓力影響,可得到一致的鍍膜速率和最佳的鍍膜效果。
八、可使用多種金屬靶材:Au, Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd(Au靶為標配),靶材更換快速方便。
 
技術參數
樣品室大小
直徑120mm x 120mm 高 (4.75 x 4.75")
靶材
Au 靶為標配, Au:Pd, Pt, Pt:Pd (選件);大?。褐本?7mm x 0.1mm厚
樣品臺
可以裝載12個SEM樣品座,高度可調范圍為50mm
濺射控制
微處理器控制,安全互鎖,可調,最大電流40mA,程序化數字控制
濺射頭
低電壓平面磁控管,靶材更換快速,環繞暗區護罩
模擬計量
真空: Atm - 0.001mbar
厚度監控
(
選件)
使用MTM-20高分辨厚度控制儀(選件)自動終止濺射過程,或使用MTM-10高分辨厚度監控儀(選件)手動終止濺射過程
控制方法
自動氣體換氣和泄氣功能,自動處理排序,帶有“暫停”控制的數字定時器(0-300s),自動放氣
桌上系統
真空泵可置于抗震臺上,全金屬集成耦合系統

銅網鍍碳制成負染色蛋白質樣品案例

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